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        形式:立式前開門

        內腔尺寸:Φ1200×Φ1200mm

        真空系統:機械泵+羅茨泵+分子泵

        極限真空:5.0E-5pa

        工件夾:立式旋轉帶搖擺

        烘烤:碘鎢燈加熱300℃

        離子源:美國進口(條形源)

        電源:3相,380V,50Hz,約30KW

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